MicroMachine相关论文
介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计．利用体硅微机械加工工艺和硅/玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度......
微型机械是在微电子工艺的基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,具有广阔的应用前景.文中分析了微型机械的研究发展现状,并......
对近年来硅微机械加工技术(MEMS)工艺研制的几种微传声器进行了论述,对其优缺点进行分析和研究表明:这些传统的传声器主要起声电转......
介绍了电子隧道效应在微机械陀螺仪中的应用,根据电子隧道效应的特点与要求提出了隧道陀螺仪的结构方案,利用ANSYS进行系统模态分......
提出了一种能敏感倾角的微机械气流式传感器。采用微机械工艺在硅板上腐蚀出一个深槽,在深槽上设置2个有金属薄膜热敏电阻器的悬臂......
论述了气体摆的机理，分析了密闭腔中自然对流气体的浮升力及浮升力与温度变化的关系式。该文给出了二维微机械气体摆式加速度计与倾......
在对新型微机械悬臂梁红外热探测器进行理论建模的基础上,研究了一种适合于此种红外热探测器的吸热层材料--碳纳米管.利用碳纳米管......
采用微细加工的方法研制出了一种可调式微机械光衰减器,对该衰减器的性能进行了测试,并对影响其光学性能的因素作了分析.测试表明,......
论述了微电子机械制造中的主要技术,包括表面微细加工、体微细加工、光刻-电铸-注塑(LIGA)、硅直接键合技术等,并讨论了这些新技术......
设计了一种检测模态和驱动模态具有相近品种因子的微机械陀螺.这种我们称之为栅型结构的陀螺由悬空弹簧将具有栅条的检测质量块与......
介绍了基于流体运动的加速度计的原理和制作，它的原理是自然对流受到加速度信号而产生对流形变，从而产生温度差，由这个温度差感应了加......
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器.当密闭腔内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜......
为确保ΣΔ（sigma-delta）微加速度计系统仿真的正确性,提出一种改进的敏感结构等效电学模型.在分析传统敏感结构等效电学模型局限性......
分析了旋转式硅微机械陀螺的工作原理，建立了该陀螺的数学模型，设计了其敏感结构，计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁......
